STP Maglev 真空分子渦輪泵

為了實現(xiàn)始終如一的可靠性能 和零維護，您每次都可以依賴于 Edwards 的 STP Maglev 渦輪分子泵 來實現(xiàn)。

我們的第一套 STP Maglev 渦輪分子泵于 1983 年售出，現(xiàn)在已經(jīng)在世界各地 安裝了 166,000 多套。其中的 85% 都運行于半導(dǎo)體制程工具中， 表現(xiàn)出了卓越的性能級別和可靠性。  

對于需要長時間正常運行、無碳?xì)?化合物泵送、維護量少和低振動的應(yīng)用， STP Maglev 渦輪分子泵是首選泵。轉(zhuǎn)子通過磁力軸承實現(xiàn)完全 懸浮，因此，消除了轉(zhuǎn)子與泵其余部分之間的 所有接觸。除振動極低之外，消除接觸 還意味著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時 不會發(fā)生軸承接觸，也就無需對泵進行后續(xù) 維護。 

產(chǎn)品開發(fā)的每個設(shè)計階段均 融合了節(jié)能技術(shù)，以確保降低 能耗和提升運行效率，同時不損害 質(zhì)量和性能。

• 提高了生產(chǎn)效率：
  更快抽空到基準(zhǔn)壓力
• 體積緊湊： 
  節(jié)省空間并且易于安裝
• 低擁有 成本：
  低功耗和水電消耗
• 免維護： 
  經(jīng)濟