濕泵
適合“濕式”應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)：
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任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的最高蒸汽泵送能力
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獨(dú)特的模式選擇器開關(guān)意味著泵可在高流速下保持潤(rùn)滑
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任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的最高氣鎮(zhèn)流量提供 220g/hr（在 RV12 上為 290g/hr）的水蒸汽處理能力
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配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內(nèi)
對(duì)于溶劑/蒸汽與氟橡膠 (FKM) 密封不兼容的應(yīng)用，提供腈 (Buna-N) 轉(zhuǎn)換套件。另外，泵送大量氧化劑時(shí)，可以訂購(gòu)備有 PFPE 的泵。
多塵
適合“多塵”應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)
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一流的防反吸保護(hù)可避免灰塵回流到制程中
通過油壓來控制打開狀態(tài)，從而消除壓力波動(dòng)
在泵由于傾泄閥而停止運(yùn)行的 0.4 秒內(nèi)快速關(guān)閉
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大直徑油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的泵的油路直徑不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半導(dǎo)體行業(yè)的 PVD 和 CVD 應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)而設(shè)計(jì)，適用于多塵應(yīng)用。
清潔/干燥
適合清潔/干燥應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)
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獨(dú)特的模式選擇器開關(guān)意味著泵可在高流速下保持潤(rùn)滑
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配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內(nèi)
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一流的防反吸保護(hù)可避免油霧回流到制程中
通過油壓來控制打開狀態(tài)，從而消除壓力波動(dòng)
在泵由于傾泄閥而停止運(yùn)行的 0.4 秒內(nèi)快速關(guān)閉
獲得專利的模式選擇器意味著該泵在高真空應(yīng)用和高吞吐量應(yīng)用中都適用。對(duì)于后一種應(yīng)用，可以安裝一個(gè)可選的油回收套件，以便讓泵在高吞吐量下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)而不會(huì)將所有油排到排氣管中。
氧化劑
適合泵送氧化劑的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)：
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任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的最高氣鎮(zhèn)流量
允許稀釋泵送的氣體以便最大限度地減少油的氧化
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提供 PFPE 選配型
適合泵送氧氣和鹵代化合物
RV 泵的高氣鎮(zhèn)允許更高的氧氣流量，同時(shí)保持稀釋到爆炸下限以下。在與可選的油回收套件配合使用時(shí)可防止氣鎮(zhèn)將所有油吹入到廢氣，與備有 PFPE 的泵配合使用時(shí)可避免油被氧化，RV 泵是適合泵送氧氣的可靠泵。同樣，這些特性使得 RV 泵適用于泵送其他氧化劑，如鹵素和鹵代化合物。對(duì)于這些化合物，著火/爆炸不是問題，但氣鎮(zhèn)仍可用于稀釋以保護(hù)油和軸承。應(yīng)使用 PFPE 以延長(zhǎng)油的壽命。
