渦輪分子泵 Hipace 1200-2300
博銳興 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 1200-2300,抽速范圍 1200-2300 l/s 的全系列緊湊型復(fù)合軸承渦輪分子泵, HiPace 1200 - 2300系列渦輪分子泵可以倒置安裝。對小分子量氣體(H2, He)和大分子量氣體(Ar, CF4)都有很高的抽速。
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 產(chǎn)品優(yōu)點:
1.抽速從 1200-2300 l/s 的全系列產(chǎn)品
2.安裝角度可選 0°-90° 和 90°-180°
3.分子泵有抗腐蝕性氣體型號可選(C型號)
4.帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
5.電壓范圍 90 - 265 V
6.獲得 SEMI S2, UL, CSA 和 TüV認證
7.防護等級 IP54 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
8.適用于各種嚴苛工藝如刻蝕,濺鍍,分子泵耐粉塵
9.集成分子泵控制器 TC 1200,可直接連接一般電源